吉時利儀器提升S530參數(shù)測試系統(tǒng)的吞吐量和準確度

吉時利儀器公司，作為先進電子測試儀器和系統(tǒng)的當先制造商，日前宣布半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)濟有效的全自動化生產(chǎn)參數(shù)測試方案——S530參數(shù)測試系統(tǒng)產(chǎn)品線在幾個方面的性能提升。這些性能提升包括增加了吉時利新的高吞吐量開關(guān)主機用于高完整性的信號切換，探針卡上的*開爾文測量提高低阻值準確度、新的硬件保護模塊防止高靈敏度系統(tǒng)儀器受高電壓影響，以及齊全的“探測”系統(tǒng)規(guī)范和診斷工具。

　　S530系統(tǒng)專門針對必須適應(yīng)各種產(chǎn)品組合或者在寬應(yīng)用靈活性和快速開發(fā)測試方案非常關(guān)鍵的生產(chǎn)參數(shù)測試環(huán)境進行了優(yōu)化。S530測試儀采用成熟的源-測量技術(shù)和高保真度信號通路確保業(yè)界當先的測量準確度和可重復(fù)性。

　　選擇兩種功能強大的參數(shù)測試配置

　　提供兩種不同配置的S530系統(tǒng)：低電流配置用于特性測量，例如亞閾值漏電、柵極漏電等;高電壓配置用于GaN、SiC和Si LDMOS功率器件所需的較困難的故障和漏電測試。S530低電流系統(tǒng)(2~8 SMU通道)提供亞皮安測量分辨率和低電流防護一直到探針引腳。S530高壓系統(tǒng)(3~7 SMU通道)帶有源-測量單元(SMU)，能輸出1000V@20mA(20W大值)。在合理配置下，S530系統(tǒng)能實現(xiàn)過程控制監(jiān)控、過程可靠性監(jiān)控和器件特性分析所需的全部DC和C-V測量應(yīng)用。

　　專為高度混合的測試環(huán)境下實現(xiàn)經(jīng)濟有效的操作優(yōu)化

　　在整個測試方案開發(fā)過程中，S530參數(shù)測試系統(tǒng)能及時向工程師提供反饋，因而加速并簡化了晶圓與測試方案的設(shè)置。例如，控制S530系統(tǒng)流水線測試方案開發(fā)的自動特性分析套件(ACS)軟件支持新的測試腳本進行交互式測試并且在全自動模式下不影響吞吐量。ACS還提供離線式測試方案開發(fā)和測試結(jié)果分析。

　　功能強大的ACS軟件

　　與其它幾款成熟的吉時利測試系統(tǒng)一樣，S530系統(tǒng)也使用功能強大的ACS 4.3版本軟件，這加強了實驗室與圓廠的聯(lián)系并加快了系統(tǒng)學(xué)習(xí)的速度。由于ACS在一個集成包中結(jié)合了全部自動參數(shù)測試所需的元素，因而使S530系統(tǒng)的效率和靈活性大化。

　　業(yè)內(nèi)功能強大的高電壓參數(shù)測試系統(tǒng)

　　所有S530系統(tǒng)都配備了高達20W源或阱能力(在200V和20V量程下)的高功率SMU，適于當今移動設(shè)備中流行的高功率器件和電路的完整特性分析。無論在LDMOS Si測試還是在GaN BJT測試應(yīng)用中，更高的功率性能可以更加深入地了解器件性能。還能確保S530系統(tǒng)在測試高功率器件時不會影響監(jiān)控主流器件過程所需的低電流亞皮安級靈敏度。S530高壓系統(tǒng)是現(xiàn)有僅有一款能提供1kV到任何探針卡引腳(多32引腳)的參數(shù)測試儀。它能在一次完成高電壓和低電流的靈敏測量，從而實現(xiàn)高功率器件準確特性分析。此系統(tǒng)的高電壓SMU能輸出1000V@20mA(20W大值)。

　　高度保真的信號通路提高測量完整性

　　每個S530測試系統(tǒng)都采用高性能開關(guān)矩陣和高度保真的信號通路以便在儀器和測試引腳之間直接傳送信號。通過設(shè)定電流和電壓上限并限定電流失調(diào)的低電平測量，這些通路的性能將直接影響測試系統(tǒng)整體的性能。S530具有8條高度保真的通路可用于儀器與引腳之間的動態(tài)連接。例如，每次多能將8臺SMU連接至任意引腳(或一組引腳)。該低電流系統(tǒng)對于全部8條通路都具有一致的性能;高壓系統(tǒng)具有2條高壓/低漏電通路、4條通用通路和2條C-V通路。這兩種系統(tǒng)都支持高2MHz的C-V測量。

　　基于成熟的SMU技術(shù)

　　S530參數(shù)測試系統(tǒng)內(nèi)建的全部源-測量單元(SMU)都基于吉時利產(chǎn)品質(zhì)量保障的儀器技術(shù)以確保較高的測量準確度和可重復(fù)性并延長硬件的壽命。這些SMU是四象限源，所以能輸出或吸收(源或阱)電流或電壓。除了精密源電路外，這些SMU還包括全量程的可編程范圍(容限)，這有助于防止因設(shè)備故障而損壞設(shè)備和探針尖。每臺SMU還能在源的同時測量電壓和電流，這確保參數(shù)計算反映了實際情況而不是設(shè)定的條件。

　　電容-電壓(C-V)單元選件

　　全部S530系統(tǒng)都能配備高速電容表用于在任意引腳進行高2MHz的C-V測量。此C-V單元在1MHz條件下能測量10pF電容并具有3%的準確度。

　　產(chǎn)品質(zhì)量保障功能

　　S530參數(shù)測試系統(tǒng)包括豐富的產(chǎn)品質(zhì)量保障功能，包括內(nèi)建診斷、系統(tǒng)指標至探針卡并兼容CE、SemiS2和S8等行業(yè)標準。ACS的“指令總線”控制接口簡化了選配定制用戶接口或工廠自動化主機控制器。